Features
Track 공정 HMDS의 비정상적인 도포(Leak, Empty 발생)에 의한 공정불량 사전 방지
동일 공정 설비 및 Unit간 2개의 온도 편차 방식의 센서로 실제 도포 유량 편차 최소화
Comparative valution
Gas마다 온도 전달 능력이 다른 점을 활용. Sensor 1과 Sensor 2의 유량차이를 측정 비교하여 판단
Sensor
| ITEM | SPEC | MEASURE |
|---|---|---|
| FLOW RATE | 5.25 | Slm |
| WORKING PRESSURE | 1 | Barg |
| PRESSURE RANGE | 0.5~3 | Barg |
| RESPONSE TIME | <=1 | Sec |
| OUTPUT SIGNAL | RS-485 | |
| POWER | 15~24 | DCV |
| SEAL MATERIAL | Kalrez | |
| BODY MATERIAL | SUS 316 | |
| MAXIMUM TEMPERATURE | 75 | ℃ |
Controller
| ITEM | SPEC |
|---|---|
| POWER | 220ACV |
| SCREEN | 7″Touch |
| OS | Windows7 |
| VACCINE | V3 Lite |
| COMMUNICATION METHOD | RS-485 |
| HOST COMMUNICATION | Ethernet |
| PROTOCOL | Rendezvous, SECS |
| AVAILABLE SENSOR | 24 |
| AVAILABLE UNIT | 8 |